진공 컨베이어 (최소 팹과 호환)

우리는입니다최소 FAB 프로모션 조직, General Incorporated Association의 회원으로서, 나는 최소 팹의 개발 및 홍보에 관여합니다.
진공 웨이퍼 이송 전면 챔버 시스템 (진공 PLAD)에 관한 주문은 당사에 문의하십시오.

최소 천

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생산 장치로서 하나의 φ12.5mm 웨이퍼를 사용하여 매우 작은 규모로 반도체 제조 공장을 형성하고 반도체 칩과 같은 소량의 마이크로 디바이스를 제조하는 혁신적인 다중 제품 소규모 반도체 제조 시스템.

plad (입자 잠금 장치 도킹)

웨이퍼를 운반 할 수있는 로컬 청소 된 안테룸 시스템은 전달 컨테이너와 공정 장치 내부 사이의 웨이퍼 전송에서 미세 입자와 가스 분자를 완전히 차단할 수 있습니다

기능

컨베이어 컨테이너 (최소 셔틀)에서 웨이퍼를 제거하면서 외부 공기 및 미세 입자에서 완전히 차단 한 다음 웨이퍼를 진공 장치로 가져 가면
W267.5 x d114 x H378 (mm)의 공간에있는 내장 현관, 웨이퍼 운송 로봇, 진공 펌프, 진공 게이지 및 컨트롤러가있는 소형 설계
내장 약물 분자 펌프, 전면 챔버가 높은 진공 청소기 (10E-3PA 범위)로 대피 할 수 있도록합니다.
전면 챔버를 높은 진공 상태에서 유지하면서 진공 압력 대기압으로 운송 컨테이너 내부를 교체 할 수 있습니다
포지셔닝 정확도 반복 : ± 0.1mm 이하의 고정밀 전송 가능